• 吕梁:女子被贴罚单心怀不满 朋友圈恶意辱警被查 2019-04-20
  • 深入贯彻落实党中央治疆方略坚定不移推进新疆社会稳定和长治久安 2019-04-20
  • 广州市白云区人民法院公告专栏 2019-04-19
  • 人民日报创刊七十周年:风雨兼程,与党和人民同行 2019-04-19
  • 2016全国重点网络媒体记者重庆行——华龙网 2019-04-18
  • 昔日“龙须沟” 今变清水渠 2019-04-17
  • 世界杯揭幕战:俄罗斯队胜沙特阿拉伯队 2019-04-13
  • 达索系统3D体验高峰论坛暨广州智能制造大会召开 2019-04-07
  • 木有评论的价值,逗逗你这猴崽子。[哈哈] 2019-04-07
  • 安徽省直机关领导干部宪法学习宣传报告会br暨“省直机关大讲堂”第四十四讲在肥举办 2019-04-03
  • 融资结构巨变 “大牛市”将再次上演? 2019-04-01
  • 中国经济底气足!端午节前多部门密集释放重要信号! 2019-03-19
  • 北京高能时代环境技术股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-03-18
  • 第三届北京环保动漫设计大赛颁奖典礼7日举行 2019-01-01
  • 海淀区中关村:强化知识产权运营保护 推进知识产权强区建设 2019-01-01
  • 排列三和值跨度走势图:中微5纳米等离子体刻蚀机很棒 但造芯片只是"配角"

    发布时间:2019年02月14日 10:02    发布者:eechina
    关键词: 刻蚀 , 光刻
    来源:科技日报社

    近来有网络媒体称,“中微半导体自主研制的5纳米等离子体刻蚀机,性能优良,将用于全球首条5纳米芯片制程生产线”,并评论说“中国芯片生产技术终于突破欧美封锁,第一次占领世界制高点”“中国弯道超车”等等。

    中微公司的刻蚀机的确水平一流,但夸大阐述其战略意义,则被相关专家反对??淌粗皇切酒圃於喔龌方谥???淌椿膊皇嵌曰鄣纳璞?,在这个意义上不算“卡脖子”。

    首先,外行容易混淆“光刻机”和“刻蚀机”。光刻机相当于画匠,刻蚀机是雕工。前者投影在硅片上一张精细的电路图(就像照相机让胶卷感光),后者按这张图去刻线(就像刻印章一样,腐蚀和去除不需要的部分)。

    光刻机是芯片制造中用到的最金贵的机器,要达到5纳米曝光精度难比登天,ASML公司一家通吃高端光刻机;而刻蚀机没那么难,中微的竞争对手还有应用材料、泛林、东京电子等等,国外巨头体量优势明显。

    “中微的等离子刻蚀机这几年进步确实不小,”科技日报记者采访的一位从事离子刻蚀的专家说,“但现在的刻蚀机精度已远超光刻机的曝光精度;芯片制程上,刻蚀精度已不再是最大的难题,更难的是保证在大面积晶圆上的刻蚀一致性?!?

    该专家解释说,难在如何让电场能量和刻蚀气体都均匀地分布在被刻蚀基体表面上,以保证等离子中的有效基元,在晶片表面的每一个位置实现相同的刻蚀效果,为此需要综合材料学、流体力学、电磁学和真空等离子体学的知识。

    该专家说:“刻蚀机更合理的结构设计和材料选择,可保证电场的均匀分布??淌雌宓睦∪敕绞揭彩枪丶?。据我所知,中微尹志尧博士的团队在气体喷淋盘上下过不少的功夫。另外包括功率电源、真空系统、刻蚀温度控制等,都影响刻蚀结果?!?

    另外,该专家也指出,刻蚀机技术类型很多,中微和他们的技术原理就有很大区别,至于更详细的技术细节,是每个厂家的核心机密。

    顺便一提:刻蚀分湿法(古代人就懂得用强酸去刻蚀金属,现代工艺用氟化氢刻蚀二氧化硅)和干法(如用真空中的氩等离子体去加工硅片)?!笆ǔ鱿纸显?,一般用在低端产品上。干法一般是能量束刻蚀,离子束、电子束、激光束等等,精度高,无污染残留,芯片制造用的就是等离子刻蚀?!备米页?。

    上述专家称赞说,尹博士以及中微的核心技术团队,基本都是从国际知名半导体设备大厂出来的,尹博士原来就在国外获得了诸多的技术成就。中微不断提高改进,逐步在芯片刻蚀机领域保持了与国外几乎同步的技术水平。

    在IC业界工作多年的电子工程师张光华告诉科技日报记者:“一两年前网上就有中微研制5纳米刻蚀机的报道。如果能在台积电应用,的确说明中微达到世界领先水平。但说中国芯片‘弯道超车’就是夸大其词了?!?

    “硅片从设计到制造到封测,流程复杂??淌词侵圃旎方诘墓ば蛑?,还有造晶棒、切割晶圆、涂膜、光刻、掺杂、测试等等,都需要复杂的技术。中国在大部分工序上落后?!闭殴饣?,“而且,中微只是给台积电这样的制造企业提供设备,产值比台积电差几个数量级?!?

    科技日报记者发现,2017年开始网络上经常热炒“5纳米刻蚀机”,而中微公司一再抗议媒体给他们“戴高帽”。

    “不要老把产业的发展提高到政治高度,更不要让一些新闻人和媒体搞吸引眼球的不实报导?!币疽?018年表示,“对我和中微的夸大宣传搞得我们很被动……过一些时候,又改头换面登出来,实在让我们头痛?!?
    欢迎分享本文,转载请保留出处://www.kqxj.net/thread-560340-1-1.html     【打印本页】
    您需要登录后才可以发表评论 登录 | 立即注册

    体彩和值尾走势图 www.kqxj.net

    相关文章

    关于我们  -  服务条款  -  使用指南  -  站点地图  -  友情链接  -  联系我们
    体彩和值尾走势图 © 版权所有   京ICP备16069177号 | 京公网安备11010502021702
    回顶部
  • 吕梁:女子被贴罚单心怀不满 朋友圈恶意辱警被查 2019-04-20
  • 深入贯彻落实党中央治疆方略坚定不移推进新疆社会稳定和长治久安 2019-04-20
  • 广州市白云区人民法院公告专栏 2019-04-19
  • 人民日报创刊七十周年:风雨兼程,与党和人民同行 2019-04-19
  • 2016全国重点网络媒体记者重庆行——华龙网 2019-04-18
  • 昔日“龙须沟” 今变清水渠 2019-04-17
  • 世界杯揭幕战:俄罗斯队胜沙特阿拉伯队 2019-04-13
  • 达索系统3D体验高峰论坛暨广州智能制造大会召开 2019-04-07
  • 木有评论的价值,逗逗你这猴崽子。[哈哈] 2019-04-07
  • 安徽省直机关领导干部宪法学习宣传报告会br暨“省直机关大讲堂”第四十四讲在肥举办 2019-04-03
  • 融资结构巨变 “大牛市”将再次上演? 2019-04-01
  • 中国经济底气足!端午节前多部门密集释放重要信号! 2019-03-19
  • 北京高能时代环境技术股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-03-18
  • 第三届北京环保动漫设计大赛颁奖典礼7日举行 2019-01-01
  • 海淀区中关村:强化知识产权运营保护 推进知识产权强区建设 2019-01-01